3月30日晚間，中微公司發布年度業績報告稱，公司在2021年營業收入約31.08億元，較2020年增加約8.35億元，同比增長36.72%；2021年毛利爲13.48億元，較2020年增加約4.91億元，同比增長57.38%；2021年歸屬于上市公司股東的淨利潤爲10.11億元，同比增長105.49%。

中微公司表示，受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，2021年刻蚀设备收入为20.04亿元，较2020年增长约55.44%，毛率达到44.32%；由于下游市场原因以及2022年新签署的MiniLED MOCVD设备规模订单尚未确认收入，2021年MOCVD设备收入为5.03亿元，较2020年增长约1.53%，但MOCVD设备的毛利率达到33.77%，较2020年的18.65%有大幅度提升。公司2021年新签订单金额为41.3亿元，较2020年增加约19.6亿元，同比增加约90.5%。

2021年，中微公司各主要产品均保持良好的增长趋势。其中，在MOCVD设备方面，中微公司蓝光照明Prismo A7以及深紫外LED外延片Prismo HiT3?产品在2021年持续服务客户。中微公司还在2021年6月正式发布用于高性能MiniLED量产的MOCVD设备Prismo UniMax?。

據悉，該設備專爲高産量而設計，具有高波長均勻性、高良率等優點，可同時加工164片4英寸或72片6英寸外延片。截至2021年12月，該設備已收到來自國內多家領先客戶的批量訂單合計超過100腔。

进入2022年，Prismo UniMax?持续获得客户认可，目前订单已超180腔。其中，2022年3月28日，中微公司宣布其全资子公司南昌中微接到来自兆驰半导体（兆驰股份的全资子公司）52腔Prismo Unimax? MOCVD设备采购订单。

中微公司还积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备，启动了应用于制造Micro LED、功率器件等生产的MOCVD设备的开发。

其中，应用于Micro LED高端显示的MOCVD设备和应用于碳化硅功率器件的外延设备还处于研发阶段；而制造硅基氮化镓功率器件用MOCVD设备已在客户芯片生产线上验证。（LEDinside Lynn整理）