尹志堯“志在巅峰”的底氣，是中微公司在刻蝕設備、MOCVD設備兩大領域齊發力的成果。

“今年（2021年）到目前为止，用于3D NAND应用的Primo HD-RIE和用于7纳米及以下节点逻辑应用的Primo AD-RIE-e占设备总出货量的50%。”中微公司官网介绍。

3D NAND是闪存领域最先进的产品，而7纳米及以下节点芯片，世界范围内也只有台积电、三星等极少数晶圆厂具备制造能力。

但要注意的是，半導體行業具有一定的周期性特征。中微公司也表示，在行業景氣度提升過程中，産業往往加大資本性支出，快速提升對相關設備的需求；在行業景氣度下降過程中，産業則可能削減資本支出，進而對設備的需求産生不利影響。

國內刻蝕設備龍頭

尹志尧是刻蚀设备专家，其于1986年加入Lam Research（泛林半导体）并引领了刻蚀技术的发展，同时为一些关键产品带来了解決方案。在成立中微之前，尹志尧在应用材料公司任职13年，曾担任公司副总裁、等离子体刻蚀设备产品事业群总经理、亚洲区采购副总裁、应用材料亚洲首席技术官等。

他的职业生涯，与刻蚀设备分不开。曾任职的两家公司也是全球前三的刻蚀设备厂商。根据Gartner 2019年统计数据，泛林半导体、东京电子和应用材料分别占据了全球44.7%、28.0%、18.1%的市场份额。

在尹志尧的带领下，中微公司逐渐成长为國內刻蝕設備龍頭。在Gartner 2019年统计中，中微公司刻蚀设备全球排名第六，市占率为1.1%。

2021年，中微公司營業收入31.08億元，同比增長36.72%。其中，刻蝕設備收入20.04億元，同比增長約55.44%，毛利率爲44.32%。

中微公司主要産品可分爲CCP刻蝕設備、ICP刻蝕設備以及MOCVD設備。

刻蚀设备技术方面，中微公司相关设备可用于逻辑芯片先进制程、3D NAND芯片的生产。公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到5纳米等先进的芯片生产线。同时，公司根据先进集成电路厂商的需求，已开发出5纳米及更先进刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。公司目前正在配合客户需求，开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，能够涵盖5纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。

事實上，目前全球能生産5納米及以下先進制程芯片的晶圓廠，唯有台積電、三星。

在3D NAND领域，中微公司电容性等离子体刻蚀设备可应用于64层和128层的量产，同时公司根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够涵盖128层及以上关键刻蚀应用以及相对应的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。

此外，中微公司正在进行下一代产品的技术研发，以满足5纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3D NAND芯片等产品的ICP刻蚀需求，并进行高产出的ICP刻蚀设备的研发。

對于刻蝕設備業務的發展，尹志堯在董事長致辭中表示：“公司CCP等離子體刻蝕設備産品持續保持競爭優勢，在國內外一線客戶的邏輯和存儲芯片制造生産線上，包括先進的5納米芯片生産線和下一代的試生産線上，持續提升市場占有率，在部分關鍵客戶市場占有率已進入前三位甚至前二位。”

赶上Mini LED风口

在很多投资者的印象里，中微公司是刻蚀设备龙头。其实，中微公司的MOCVD产品在LED设备市场也有较大影响力，特别是Mini LED风潮渐起之时。

根据TrendForce集邦咨询报道，随着Mini LED背光显示渗透率的提升，以及Mini LED直接显示逐渐进入商显等市场，Mini/Micro LED新型显示带来的LED外延片需求量将快速增长。

平安证券研报显示，MOCVD设备是LED制造的关键设备，采购金额占产线投入的50%以上。2021年被称为 Mini LED元年，GGII统计，年内LED产业链超过8成的投资集中于LED显示尤其是 Mini/Micro LED领域，Mini LED产能投资推升了MOCVD需求。

而中微公司，正是MOCVD设备重要提供商，根据IHS Markit统计，2018年中微公司的 MOCVD占据全球氮化镓基LED用MOCVD新增市场的41%；尤其在2018年下半年，中微公司的 MOCVD更是占据了全球新增氮化镓基LED MOCVD设备市场的60%以上。

中微公司于2021年6月发布了用于高性能Mini LED量产的MOCVD设备PrismoUniMax，半年内即已收到来自国内多家领先客户的批量订单合计超过100腔，并且不断收到更多的订单。

3月29日，中微公司又于官方微信號宣布，全資子公司南昌中微半導體設備有限公司收到兆馳科技52腔MOCVD設備采購訂單。

作爲技術密集型行業，中微公司MOCVD業務的發展離不開人才。中微公司官網顯示，其領導團隊中與MOCVD業務相關的主要有副總裁、南昌中微兼MOCVD中國區總經理季華；副總裁，MOCVD産品部總經理郭世平。

公司官網對季華的描述是“領導中國區團隊積極推進MOCVD設備銷售服務，在三年內實現爆發式的銷售業務成長，負責南昌中微公司的建立和運營。”

郭世平則主要從事MOCVD設備的開發和管理工作，具有多年從事化合物半導體材料外延工藝開發、設備研發及營運的經驗。2006年至2012年，郭世平在美國IQE-RF公司曆任資深研究員，氮化镓部門營運和研發總監，主要從事氮化镓晶體管和發光材料MOCVD外延生長的研發和營運工作。

而氮化镓，正是第三代半導體的一種。並且，第三代半導體也是MOCVD設備的一大應用方向。中微公司表示：“針對化合物半導體功率器件市場應用的快速發展，公司正在開發矽基氮化镓及碳化矽功率器件專用的外延設備，不斷豐富公司設備的産品線，強化公司在第三代半導體設備市場的競爭優勢。”

不过，中微公司也提示风险道，近年来，晶圆厂和 LED 外延片制造商审慎地进行扩产。不能排除下游个别晶圆厂和 LED 外延片制造商的后续投资不及预期，对相关设备的采购需求减弱，这将影响公司的订单量，进而对公司的业绩产生不利影响。